本站消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种加热装置及半导体处理设备”，专利申请号为CN202323552649.8，授权日为2024年12月10日。 专利摘要：本实用新型公开一种加热装置及半导体处理设备。加热装置包括光缆，以及连接光缆末端的光投射器，所述光投射器沿光缆的出射光方向依次排布的准直部、扩束部、修正部和分光部；所述准直部用于将光缆的出射光转变为第一平行光；所述扩束部用于将所述第一平行光变成直径更大的第二平行光；所述修正部用于将...
